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  • 半导体手套箱

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半导体手套箱

发布时间 : 2020-09-28 23:53
 

控 制:水、 氧小于lppm(纯化系统气体出口)。
调节装置:通过PLC触摸式调节(加热、 抽空、 净化、 再生)全过程无需人为监控。
工作气体:N2或Ar(气体循环)。
循环凤机:高速变频凤机,流量0-10Qm3/h,微处理器控制,经过压力测试的不锈钢装置。
双净化桂:德国BASF除氧材料,美国UOP高效吸水材料。(选配)
净化阀:德国Burkert,全自动电气动阀。 模块化设计。
再生系统:用于净化系统再次利用,使其活化;再生需要N2/H2或A旷H2的混合气体,真中H2占5-10%。显示系统:控制单元采用PLC触摸屏,操作菜单:中文。
真空系统:自动气控电镀板;真空泵选用英国Edwards 真空泵(与烤箱公用,泵型号可选)




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